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for subject
Microelectronics
containing
to be
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all forms
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exact matches only
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in specified order only
English
German
area
to be
written
zu beschreibende Fläche
available at the pin/
to be
am Anschluß anliegen
cause the requests
to be
executed by peripherals
die Bearbeitung der Anforderungen durch die Peripherie veranlassen
direct the beam sequentially to the elements of the chip pattern
to be
exposed
den Strahl sequentiell zu den zu belichtenden Elementen der Chipstruktur führen
energized/
to be
anziehen
(Relais)
move to the next field
to be
written
das nächste zu schreibende Feld anfahren
orient the pattern
to be
written with previous ones
die zu schreibende Struktur zu vorausgehenden justieren
specify the instruction
to be
performed
den auszuführenden Befehl angeben
to be
disabled
abfallen
(Relais)
to be
in register with each other
sich in Deckung befinden
use a beam spot much smaller than the feature
to be
written
eine weitaus kleinere Strahlsonde als das zu schreibende Strukturelement verwenden
word
to be
transmitted
zu übertragendes Wort
write the patterns directly onto the wafers
to be
processed
die Strukturen direkt auf die zu bearbeitenden Wafer schreiben
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