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| alignment mismatch | Justierfehler |
| impedance mismatch | Impedanzfehlanpassung |
| intra-die mismatch | Uberdeckungsfehler innerhalb eines Chips (overlay misalignment) |
| lattice mismatch | Fehlanpassung der Kristallgitter |
| refractive index mismatch | Nichtübereinstimmung der Brechungszahlen (z. B. an der Grenzschicht zwischen Resist und Substrat) |