Terms for subject Microelectronics containing mechanical

English	German
flattened by mechanical pressure	durch mechanischen Druck geebnet
interaction of opto-mechanical and electronic subsystems	Wechselwirkung fvon optomechanischen und elektronischen Teilsystemen
mechanical clearance	mechanischer Abstand (Freiraum)
mechanical disturbance	mechanische Störung
mechanical magnetic storage	mechanischer Magnetspeicher
mechanical rigidity	mechanische Festigkeit
mechanical stage	Koordinatentisch
mechanical stage motion between each scan field exposure	Tischverschiebung zwischen jeder Rasterfeldbelichtung
mechanical stepping	schrittweise Verschiebung
precision mechanical engineering	Feinmechanik
precision mechanical engineering	Präzisionsmechanik
step-and-repeat optical-mechanical distortion	optisch-mechanische Verzeichnung des Step-und-Repeat-Systems