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| r.m.s. best fitting of seven points on the wafer to the ideal focal plane | bester Ausgleich von sieben Punkten auf dem Wafer in bezug auf die ideale Fokusebene |
| r.m.s. noise | effektives Rauschen |
| R-S flip-flop | RS-Auffangflipflop |
| R-S flip-flop | Zwischenspeicherflipflop |
| R-S flip-flop | getaktetes RS-Flipflop (mit den beiden Eingängen R-Rückstelleingang und S-Setzeingang) |
| S-R bistable | SR-Flipflop |