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Terms
for subject
Microelectronics
containing
IN
|
all forms
|
exact matches only
English
German
aberrated position
in
the image plane
Fehlerort in der Bildebene
aberration
in
the image
Bildfehler
abrupt break
in
the curve
scharfer Knick in der Kurve
absence of error
in
a set of data
Fehlerfreiheit in einem Datensatz
accommodate the complete A-D function into an 18-pin dual-
in
-line package
die gesamte A-D-Funktion in einem DIP-Gehäuse mit 18 Anschlüssen unterbringen
achieve the null
in
the X-ray detectors
in den Röntgenstrahlendetektoren Nullanzeige erreichen
act
in
concert
Zusammenwirken
actual X-Y location of each element
in
the array
tatsächlicher Koordinatenort jedes Elements in der Matrix
adjacent chips
in
the wafer matrix
benachbarte Chips im Scheibenverband
advance a number stored
in
a register
eine im Register gespeicherte Zahl erhöhen
advance continually
in
the x direction
sich kontinuierlich in x-Richtung bewegen
advancing state-of-the-art
in
semiconductor fabrication processes
fortschreitend höherer Entwicklungsstand der Halbleiterfertigungsverfahren
align each element individually to its corresponding element
in
the previously printed matrix
jedes Element einzeln zu dem entsprechenden Element in der vorher belichteten Struktur justieren
alignment between all corresponding images
in
each mask
Überdeckung aller entsprechenden Bilder in jeder Maske
allow an interrupt to occur
in
accordance with specified priorities
eine Unterbrechung entsprechend den festgelegten Prioritäten zulassen
aperture
in
the mask
Öffnung in der Maske
appear as defects
in
the printed image
in dem übertragenen Bild als Defekte erscheinen
appear
in
graphic form on a terminal screen in
grafischer Form auf einem Bildschirm erscheinen
architectural flexibility
in
hardware
Vielseitigkeit der Hardwarearchitektur
arrange binary digits
in
groups of four
Binärziffern in Vierergruppen anordnen
arrangement of data
in
a record
Anordnung der Daten in einem Satz
assist
in
developing solutions to problems
die Erarbeitung von Problemlösungen unterstützen
availability approaching 90 %
in
a manufacturing environment
Verfügbarkeit von etwa 90 % unter Produktionsbedingungen
avalanche action
in
the collector junction
Lawinenwirkung in der Kollektorsperrschicht
baked
in
air
in Luft gehärtet
baking time at 75 °C
in
air
Trocknungszeit bei 75 °C in Luft
baking time at 75 °C
in
air
Härtungszeit bei 75 °C in Luft
balance
in
the input circuit
Abgleich im Eingangskreis
barrier
in
the surface potential
Barriere im Oberflächenpotential
bit sequence
in
a frame
Bitfolge in einem Datenübertragungsblock
bit storage
in
each block
Bitspeicherung in jedem Block
bond energy
in
the resist molecule
Bindungsenergie im Resistmolekül
bow up to 15 μm
in
the free state
sich im freien Zustand bis zu 15 μm durchbiegen
bring
in
a new task
eine neue Aufgabe aufnehmen
build D-A converters
in
hybrid form
D-A-Wandler in Hybridtechnik bauen
built-
in
check
Geräteselbstprüfung
built-
in
check
festverdrahtete Prüfung
built-
in
diagnostic system
eingebautes Diagnosesystem
built-
in
multiply logic
eingebaute Multiplikationslogik
built-
in
potential
Diffusionspotential
built-
in
self-checking routine
Geräteselbstprüfungsprogramm
built-
in
voltage
Diffusionsspannung
bump wafers
in
-house
die Wafer auf betriebseigenen Anlagen mit Bondhügeln versehen
burn-
in
künstliche Alterung
(Prüfphase zur Erkennung von Frühausfällen)
burn-
in
Voralterungstest
burn-
in
-in screen
Selektierung durch Voralterung
burn-
in
-in screening
Selektierung durch Voralterung
burn-
in
out
Ausbrennen
burn-
in
semiconductor chips prior to assembly
Halbleiterchips vor dem Einbau einem beschleunigten Alterungstest unterziehen
call
in
abrufen
(Daten)
call
in
aufrufen
call up any step
in
the program
jeden Programmschritt aufrufen
call up standard circuit elements stored
in
the library
in der Bibliothek gespeicherte Standardschaltkreiselemente aufrufen
carry-
in
Übertrag von einer vorhergehenden Stelle
(z. B. in das Rechen- und Steuerwerk)
cassette-to-cassette
in
-line wafer processing system
durchgehendes Waferbearbeitungssystem mit Kassettenbetrieb
cast equation
1
in
a slightly different form
Gleichung
1
leicht umformen
change
in
emphasis from throughput to resolution and defect density
Verlagerung des Schwergewichts vom Durchsatz auf Auflösung und Defektdichte
change
in
line width
Linienbreiteänderung
channel length
in
direction of current flow
Kanallänge in Stromflußrichtung
check all modules
in
order
alle Bausteine der Reihe nach durchprüfen
circuit structure for a fan-
in
of 1 and a fan-out of 3
Schaltkreisstruktur für einen Eingangslastfaktor 1 und einen Ausgangslastfaktor 3
circulate
in
the store without alteration
im Speicher ohne Änderung umlaufen
clamp
in
a computer logic circuit
Begrenzerschaltung in einem logischen Schaltungsaufbau eines Rechners
clock
in
mit einem Takt einschreiben
(eingeben)
clock
in
eintakten
compensate for errors
in
stage position
Fehler der Tischposition kompensieren
compensate for errors
in
stage position
Fehler in der Tischpositionierung kompensieren
complementary pair of transistors connected
in
series
zwei in Reihe zusammengeschaltete Komplementärtransistoren
computer-based
in
-circuit test system
maschinenunterstützte systemeigene Testanlage
confine the electrons
in
the discharge region
die Elektronen auf den Entladungsbereich begrenzen
connect
in
cascade
kaskadieren
connect
in
series
hintereinanderschalten
connect
in
series
in Serie schalten
connect the outputs
in
parallel
die Ausgänge parallelschalten
connect two complementary MOS transistors
in
parallel
zwei Komplementär-MOS-Transistoren parallelschalten
connected
in
parallel with
parallelgeschaltet mit
connected
in
series
in Reihe geschaltet
connected
in
series
in Serie geschaltet
construct a computer system
in
-house
ein eige nes Rechnersystem aufbauen
correctness of alignment between reticles
in
a set
Richtigkeit der Justierung zwischen Retikeln in einem Satz
count
in
either direction
in beiden Richtungen zählen
cut bit costs
in
half
Bitkosten halbieren
(um die Hälfte verringern)
cut electrode count almost
in
half
die Elektrodenzahl nahezu halbieren
cutout
in
the polyimide film
Durchbruch im Polyimidfilm
cutout
in
the polyimide film
Ausschnitt im Polyimidfilm
data bus leakage
in
input mode
Reststrom des Datenbusses im Eingangszustand
data
in
Dateneingabeleitung
data-
in
line
Dateneingabeleitung
data point
in
the array
Datenpunkt in der Matrix
deflect
in
a curved path
in eine gekrümmte Bahn ablenken
deflect
in
synchronism with
synchron ablenken mit
deflect the electron beam
in
a raster mode along one axis
den Elektronenstrahl rasterartig in einer Richtung ablenken
deflect the electron beam
in
a raster over a 64μm square field
den Elektronenstrahl rasterförmig über ein Feld von 64 μm × 64 μm ablenken
degradation
in
image quality
Verschlechterung der Bildqualität
delete interconnections
in
existing ICs
Verbindungen in vorhandenen integrierten Schaltkreisen entfernen
delineate a pattem
in
the photoresist film on a wafer
eine Struktur im Fotoresist auf dem Wafer schreiben
belichten
(Elektronenstrahllithografie)
delineation of the desired pattern
in
the resist
Schreiben der gewünschten Struktur im Resist
describe the layout to the computer
in
terms of its geometry
das Layout für den Computer in Form seiner Strukturanordnung beschreiben
detect a null
in
the X-ray detectors
in den Röntgenstrahlendetektoren eine Null anzeigen
device geometries
in
the 1 μm feature region
Bauelementstrukturen im 1-μm-Bereich
diagnose an error
in
a program
einen Fehler in einem Programm diagnostizieren
diagnose malfunctions
in
the equipment
Fehler im Gerät feststellen
(erkennen)
diffraction of light at the edges of features
in
the patterns
Beugung des Lichts an den Kanten der Strukturelemente
diffusion drive-
in
through windows
Eindiffundierung durch Fenster
diffusion drive-
in
through windows
Diffusionsdotierung durch Fenster
diffusivity of electrons and holes
in
the base
Diffusionsvermögen von Elektronen und Defektelektronen in der Basis
dimensional inspection
in
a microdensitometer mode
Kontrolle der Abmessungen nach einem Mikrodensitometerverfahren
direct plug-
in
replacements
direkt austauschbare Ersatzteile
direct plug-
in
replacements
direkt einsteckbare Ersatzteile
dissolve the layer
in
water
die Schicht in Wasser lösen
distort the existing data
in
the field
die vorhandenen Daten im Datenfeld verfälschen
dope
in
a controllable way
kontrollierbar dotieren
double
in
density
performance
every year
sich jährlich in Dichte
Leistung
verdoppeln
drain current
in
the external terminal
Drainstrom im äußeren Anschluß
draw a pattern
in
an electron-sensitive resist
eine Struktur in elektronenempfindlichem Resist schreiben
drive-
in
Dotierung
drive-
in
Einbau
drive-
in
technique
Diffusionsverfahren mit begrenzter Quelle
drive-
in
temperature
Eindiffusionstemperatur
drive the wafer stage relative to the mask stage
in
a precise and controlled fashion
den Wafertisch in bezug auf den Maskentisch in einer genau kontrollierten Weise antreiben
(ansteuern)
drop-
in
Einfügung
(z. B. von Teststrukturen)
dual-
in
-line metal case
DIL-Metallgehäuse
dual-
in
-line metal case
Dual-in-line-Metallgehäuse
dual-
in
-line package
Dual-in-line-Gehäuse mit 2,5 mm Stiftabstand
(Schaltkreisgehäuse mit zwei Reihen von Anschlußstiften)
dual
in
-line package
Käfer
electronic transition
in
the shell
Elektronenübergang in der Schale
eliminate the operator
in
the wafer handling process to the greatest extent possible
den Operateur im Waferhandhabungsprozeß in größtmöglichem Maße ausschalten
embed constants
in
instructions
Konstanten in Befehle einfügen
employ extensively
in
a wide variety of applications
in hohem Maße für die verschiedensten Verwendungszwecke benutzen
enclose
in
a shield
abschirmen
engrave marks
in
the wafer stage
Marken im Wafertisch eingravieren
enter as another variable
in
als eine weitere Variable eingehen in
enter the value into a particular location
in
the data memory
den Wert in einen bestimmten Datenspeicherplatz eingeben
equal
in
value
wertgleich
erasable
in
bulk
als Ganzes löschbar
erasable
in
bulk
volumenlöschbar
exchange information
in
a well-defined manner
Informationen in genau festgelegter Weise austauschen
execute
in
parallel
parallel ausführen
(abarbeiten)
execute instructions
in
half the time
Befehle in der halben Zeit ausführen
expose a pattern
in
a contact printer through a chrome mask
eine Struktur in einer Kontaktbelichtungsanlage durch eine Chromschablone belichten
expose a wafer
in
step-repeat fashion
einen Wafer im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
expose geometries by "painting them
in
"
Strukturen durch "Auspinseln" belichten
(Rasterelektronenstrahllithografie)
expose
in
a step-and-repeat fashion
im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
expose 5 mm x 5 mm fields
in
step-and-repeat raster-scan fashion
5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
expose rectangles
in
a single shot
Rechtecke mit einem Belichtungsstempel belichten
fabrication error
in
the optical system
Fertigungsfehler im optischen System
factor of 2 change
in
resistivity
Änderung des Widerstands um den Faktor 2
fail
in
the field
im Einsatz versagen
fall off
in
Gaussian fashion at the edges
gaußförmig am Rand abfallen
fan-
in
Eingangsauffächerung
(maximale Zahl von anschließbaren Eingängen)
feature dimension
in
the die pattern
Elementgröße in der Einzelbildstruktur
feed the program via an I-O port to a computer for storage
in
magnetic tape
das Programm über einen Eingabe-Ausgabe-Kanal in einen Computer zur Speicherung auf Magnetband eingeben
fetch instructions and data
in
parallel
Befehle und Daten parallel abrufen
fidelity
in
pattern transfer
Formtreue in der Strukturübertragung
fill
in
the feature in a raster-like motion
das Strukturelement in rasterartiger Bewegung ausfüllen
(auspinseln)
fill
in
the rectangle by the writing beam
das Rechteck mit dem Schreibstrahl ausfüllen
first-
in
-first-out
FIFO-Prinzip
(zuerst eingehende Daten werden auch zuerst ausgelesen)
first-
in
-first-out memory
Durchlaufspeicher
first-
in
-first-out memory
FIFO-Speicher
fit
in
well with pre-existing technology
mit der schon vorhandenen Technik voll kompatibel sein
fixed
in
length
mit fester Länge
fixed
in
length
von fester Länge
flexibility
in
handling the pattern data
Flexibilität bei der Verarbeitung der Strukturdaten
floppy-disk plug-
in
Disketteneinschub
form a mask pattern by scanning a raster
in
a serpentine manner
eine Maskenstruktur durch serpentinenförmiges Abrastern erzeugen
formation of features
in
the 1 μm range
Bildung von Strukturelementen im 1-pm-Bereich
formatted
in
time
zeitformatiert
fractional change
in
line width
partielle Veränderung fder Linienbreite
gain tenfold
in
computing power
die zehnfache Rechenleistung erlangen
gap
in
the pattern
Abstand in der Struktur
generate cross-linking
in
the polymers
Vernetzung in den Polymeren bewirken
generation of reticles as an intermediate step
in
producing masks
Herstellung von Retikeln als Zwischenschritt in der Maskenherstellung
geometry
in
the 0.5-to-1 μm range
Strukturen im Bereich von 0,5 bis 1 μm
groove
in
silicon
Vertiefung im Silizium
grow epitaxial silicon
in
a hydrogen atmosphere from SiH₄
epitaxiales Silizium in einer Wasserstoffatmosphäre aus Silan aufwachsen lassen
handle
in
order of importance
der Bedeutung nach verarbeiten
hermetic plug-
in
package
hermetisch gekapseltes Steckgehäuse
high degree of repetition
in
the pattern
hoher Wiederholgrad in der Struktur
hook together
in
building-block fashion to the CPU
sich bausteinartig zur Zentraleinheit zusammenschalten
house a larger chip
in
a smaller package/ to
ein größeres Chip in einem kleineren Gehäuse unterbringen
identification of misplacements
in
the design
Feststellung von fehlerhaften Plazierungen im Entwurf
image an aperture
in
the plane of a second aperture
eine Blende in die Ebene einer zweiten Blende abbilden
image profile
in
the developed resist
Bildprofil im entwickelten Resist
implement programs
in
a top-down manner
Programme von der hierarchisch höchsten Programmkomponente schrittweise bis zur niedrigsten Ebene erstellen
in
-board via
Kontaktloch in der Montageplatte
in
-circuit
systemeigen
in
-circuit
systemintegriert
in
-circuit emulation
Programmtestung unter Einbeziehung des sich noch in Entwicklung befindlichen Anwendersystems
in
-circuit emulator
Schaltkreisemulator
(System, welches einen Mikroprozessor funktionell, elektrisch und mechanisch nachbilden kann)
in
-circuit emulator
Echtzeit-Emulations- und Testadapter
(zur direkten Kopplung zwischen dem Entwicklungscomputer und dem zu testenden Anwendersystem)
in
-circuit emulator
Emulations- und Testadapter
(zur direkten Kopplung zwischen dem Entwicklungscomputer und dem zu testenden Anwendersystem)
in
-circuit emulator
Echtzeittestadapter
in
-circuit pulse injection
Punktansteuerung von eingebauten Schaltungen
in
-circuit test installation
systemintegrierte Testanlage
in
-circuit test system
systemintegrierte Testanlage
in
-circuit testing
Testen im Schaltkreis
in
-contact exposure
Kontaktbelichtung
in
-focus image
Scharfabbildung
in
house
betriebsintern
in
house
werksintern
in
house
betriebseigen
in
-house mask making department
eigene Abteilung für Maskenherstellung
in
-line assembly
Fließbandbestückung
in
line capability
Möglichkeit der automatischen Handhabung
(Bearbeitung)
in
line subroutine
offenes Unterprogramm
in
-line system
in sich geschlossene automatisierte Anlage
in
line type transfer system
fließbandartiges Transportsystem
(für automatischen Wafertransport)
in
-plane
planar
in
-plane component of distortion
planare Komponente der Verzerrung
in
-plane distortion
planare Verzerrung
(Deformation)
in
-plant system
betriebsinterne Anlage
in
-plant system
betriebseigene Anlage
in
-process measurement
Messung im laufenden Verfahren
in
-process testing
Prüfung während der Verarbeitung
in
-rush current
Stromstoß
in
saturation
im Übersteuerungsbereich
(Transistor)
in
-situ
am Einsatzort
in
-situ
am Prüfort angebracht
in
-situ adjustment
Abgleich nach Einbau
in
-situ moisture sensor
eingebauter Feuchtigkeitsdetektor
inclusion
in
a single chip device
Einbau in ein Einchipbauelement
incorporate alignment targets
in
each mask or reticle
Justiermarken in jeder Maske oder Belichtungsschablone einfügen
incorporation of strongly absorbing chlorine atoms
in
the resist
Einbau von stark absorbierenden Chloratomen im Resist
increase
in
the upper frequency limit
Erhöhung der oberen Frequenzgrenze
increment
in
steps of 4
in Stufen von 4 inkrementieren
individually designed and built
in
-house test equipment
spezielle werksinterne Prüfeinrichtung
insolubilize the coating
in
the exposed region
die Schicht im belichteten Bereich unlöslich machen
insure exposure
in
a precise spatial relationship to the mark
die Belichtung in einer genauen räumlichen Beziehung zur Marke gewährleisten
integrated circuit pattern etched
in
silicon
in Silizium geätzte Struktur eines integrierten Schaltkreises
intermittent error
in
memory
aussetzender Fehler im Speicher
internal stress
in
the resist film
innere Spannung in der Resistschicht
introduce impurities into the wafer
in
a particular pattern
Fremdatome in den Wafer in einer bestimmten Struktur einbauen
introduce temporary pauses
in
program execution
zeitweilige Unterbrechungen im Programmablauf einfügen
issue corrections
in
X and Y
Korrekturwerte für X und Y ausgeben
item
in
a set of information
Angabe in einem Informationssatz
join patterns
in
adjacent fields properly
Strukturen benachbarter Felder genau zusammensetzen
(aneinanderreihen)
keep the board securely seated
in
the connector
den sicheren Sitz der Leiterplatte in der Steckverbindung gewährleisten
key
in
a flock of ones and zeroes
einen Haufen von Einsen und Nullen eintasten
key
in
a series of programming steps
eine Reihe von Programmschritten eintasten
key
in
the value
den Wert eintasten
last-
in
-first-out
LIFO-Prinzip
(zuletzt eingeschriebene Daten werden zuerst ausgelesen; Zwischenspeicherung von Adressen und Daten in Stapelspeichern)
last-
in
-first-out-in-first-out list
Kellerungsliste
last-
in
-first-out-in-first-out stack
LIFO-Stapelspeicher
last-
in
-first-out-in-first-out stack
Kellerspeicher
last-
in
-first-out-in-first-out stack
Stapelspeicher
latch data
in
Daten festhalten
latch-
in
relay
Sperrelais
lay out the logic configurations
in
pencil on a layout sheet
die logischen Verknüpfungen von Hand auf einem Layoutblatt zeichnen
least dimensions
in
the 1 to 2 μm range
kleinste Abmessungen im 1 bis 2-Mikrometerbereich
leave photoresist only
in
those areas not exposed
das Fotoresist nur in den nichtbelichteten Flächen stehenlassen
limiting factor
in
linewidth control
Begrenzungsfaktor für die Linienbreitekontrolle
line edge profile
in
positive resist
Böschungsprofil der Linie im Positivresist
load
in
parallel with
laden parallel mit
load the slice
in
the fixture with the front surface up
die Scheibe in die Haltevorrichtung mit der vorderen Oberfläche nach oben einsetzen
loading
in
a cassette
Magazinierung
locate the lead frame pattern under the bonding tool
in
the x and y directions
den Anschlußkammstreifen unter dem Bondwerkzeug in x- und y-Richtung positionieren
located
in
close proximity to each other
dicht beieinander liegend
location of the bond pads
in
the corners of a chip
Lage der Bondinseln in den Chipecken
lock-
in
amplification
phasenempfindliche Verstärkung
lock-
in
amplifier
Lock-in-Verstärker
(der nur auf Signale seiner eigenen Frequenz anspricht)
log
in
einfügen
(z. B. Daten)
logic
in
memory
Speicher mit innerer Informationsverarbeitung
logical error
in
programming
logischer Fehler in der Programmierung
loss
in
edge definition
Verlust an Kantenschärfe
loss
in
feature size
Verringerung der Strukturbreite
loss
in
reverse direction
Sperrverlust
make the high performance lens fully operative
in
the real production world
das Hochleistungsobjektiv unter echten Produktionsbedingungen voll ausnutzen
make the mask
in
one step from the magnetic tape data
die Maske in einem Bearbeitungsschritt nach den magnetbandgespeicherten Daten herstellen
make the print
in
proximity
das Bild im Abstandsverfahren belichten
malfunction
in
the equipment
Defekt in der Anlage
malfunction
in
the equipment
Fehler in der Anlage
mask movement
in
the contact position
Maskenbewegung in der Kontaktstellung
match
in
the impedances
Impedanzanpassung
measurement of opaque lines and clear spaces
in
transmitted illumination
Messung opaker Linien und transparenter Zwischenräume in Durchlicht
(z. B. auf Fotomasken mit integrierten Schaltkreisen)
microlithographic displacements
in
increments of 0.1
μm mikrolithografische Versetzungen in Inkrementen von 0,1 μm
minimize the time spent
in
debugging
die für Fehlerbeseitigung aufgewandte Zeit verringern
minority carrier storage
in
the base region
Minoritätsträgerspeicherung in der Basiszone
misregistration between lithography processes
in
wafer fabrication
fehlerhafte Justierung zwischen lithografischen Prozessen in der Waferherstellung
modular programming
in
high-level languages
modulares Programmieren in höheren Sprachen
momentary change
in
the bias field
momentane Änderung des Vormagnetisierungsfeldes
mount chips
in
TO cans
Chips in TO-Gehäusen einsetzen
mount the substrates
in
the package
die Substrate im Gehäuse installieren
mounting by plugging into holes
in
p.c. boards
Montage durch Einstecken in Leiterplattenlöcher
move data
in
serial form at input and output and in parallel in between
die Daten am Eingang und Ausgang seriell und dazwischen parallel verschieben
move from row to row
in
a serpentine pattern
sich von Zeile zu Zeile serpentinenartig bewegen
move the beam across the wafer
in
a raster scan fashion
den Strahl rasterförmig über den Wafer führen
move the wafer
in
an X-Y raster
den Wafer.in einem X-Y-Raster bewegen
multiplication action
in
the collector junction
Verstärkungswirkung in der Kollektorsperrschicht
narrowest structure written
in
polymer resist
in Polymerresist geschriebene Struktur mit kleinsten Linienbreiten
necking-
in
Verengung
necking-
in
Verdünnung
non-uniformity
in
sheet resistance
Ungleichmäßigkeit des Schichtwiderstands
n-type impurity
in
carrier gas
n-Dotierungsstoffe im Trägergas
number of spots
in
scans
Anzahl der Rasterstrahlpunkte
ohmic drop
in
potential
ohmscher Spannungsabfall
on-axis
in
-focus image
Scharfabbildung in der optischen Achse
on-the-fly change
in
the drive field
momentane Änderung des Treiberfeldes
opening
in
the metal mask
Fenster in der Metallmaske
opening
in
the metal mask
Öffnung in der Metallmaske
openings
in
the resist
Öffnungen im Resist
operate at high speed and with repeatability
in
a real plant environment
sehr schnell und reproduzierbar unter echten Produktionsbedingungen arbeiten
operate
in
radiation environments
unter Strah-Jungseinwirkung arbeiten
operate
in
saturation
im Sättigungszustand arbeiten
operate linearly
in
saturation
linear in Sättigung betreiben
operate reliably
in
environmental extremes
unter extremen Umgebungsbedingungen zuverlässig arbeiten
operation
in
a coherent light regime
Betriebsart mit kohärentem Licht
operational amplifier
in
n-channel MOS technology
Operationsverstärker in n-MOS-Technik
opposite
in
sign
von entgegengesetztem Vorzeichen
order-of-magnitude difference
in
resistivity
Unterschied im spezifischen Wider stand um eine Größenordnung
order-of-magnitude increase
in
resolution
Erhöhung der Auflösung um eine Größenordnung
output a 1
in
bit position 0 of the data bus
eine 1 in Bitposition 0 des Datenbusses ausgeben
overlay requirements
in
the submicrometre region
Überdeckungsforderungen im Submikrometerbereich
package standard for device with 0.05-
in
. centres
Gehäusestandard für Bauelemente mit 0,05-Zoll-Anschlußraster
package up to eight chips within a 1
in
. square module
bis zu acht Chips in einem Baustein von 1 Quadratzoll kapseln
page frame
in
main memory
realer Rahmen im Arbeitsspeicher
page frame
in
main memory
Realseitenrahmen im Arbeitsspeicher
pattern images on the slice directly
in
the resist
Strukturen auf der Scheibe direkt im Resist herstellen
patterning
in
the submicron range
Strukturierung im Submikrometerbereich
perform diagnostics
in
remote plants via telephone
Ferndiagnosen über Telefon durchführen
perform
in
parallel
gleichzeitig ausführen
perform
in
parallel
parallel ausführen
performance limit
in
projection lithography
Leistungsgrenze in der Projektionslithografie
photomask with stepped-
in
alignment targets
Fotoschablone mit einbelichteten Justiermarken
picture-
in
-a-picture circuitry
Schaltkreis zur gleichzeitigen Erzeugung eines Bildes innerhalb eines Fernsehbildes
pipeline the execution
in
three stages
die Verarbeitung fließbandartig in drei Stufen durchführen
place geometries to an accuracy
in
the order of 0.2 micrometres
die Strukturen bis zu einer Genauigkeit von etwa 0,2 Mikrometer positionieren
place successive chips
in
the range of deflection
aufeinanderfolgende Chips in dem Ablenkbereich positionieren
place the information
in
latches
die Informationen in Speicherflipflops bringen
place the results
in
store
die Ergebnisse abspeichern
placement of images
in
an array
Positionierung der Bilder in Matrixform
placement of images
in
an array
Plazierung der Bilder in Matrixform
placement of images
in
an array
schachbrettartige Anordnung der Bilder
plug-
in
Einsteckelement
plug-
in
cable
Steckkabel
plug-
in
console
Steckkonsole
plug-
in
mount
Steckgehäuse
plug-
in
mount
Steckfassung
plug
in
optional modules
beliebige Bausteine einstecken
plug-
in
style
package
steckbares Gehäuse
plug-
in
style
package
Steckgehäuse
plug-
in
unit
Einsteckelement
plug the boards
in
the backplane
die Leiterplatten in das Chassis stecken
postbaking
in
an infrared oven
Nachtrocknen in einem Infrarotofen
potential
in
the bulk of the silicon
Potential im massiven Material des Siliziums
prealigned
in
a special frame
in einem Spezialrahmen vorjustiert
pre-burn-
in
of complex ICs
Voralterungstest komplexer integrierter Schaltkreise
precipitation of oxygen
in
the bulk of the silicon wafer
Anlagerung von Sauerstoff im Material des Siliziumwafers
precipitation of oxygen
in
the bulk of the silicon wafer
Ablagerung von Sauerstoff im Material des Siliziumwafers
predetermined location
in
program memory
vorausbestimmter Platz im Programmspeicher
produce inversion
in
the channel
Inversion im Kanal hervorrufen
program run
in
macroinstruction form
Programmablauf in Makrobefehlsform
programmability by fused links
in
an array
Ausbrenn-Programmierbarkeit in einem Logikfeld
progress
in
the microelectronics area
Fortschritte auf dem Mikroelektroniksektor
prohibitive
in
a high-volume application
nicht akzeptabel für Großserienanwendung
provide
in
response to a demand
auf eine Anforderung bereitstellen
provide the absolute ultimate
in
accuracy
das absolute Höchstmaß an Genauigkeit gewähren
proving machine used
in
contact mode
im Kontaktverfahren verwendete Abstandsjustier- und Belichtungsanlage
put
in
data
Daten eingeben
(einschreiben)
put the mask
in
near proximity to the wafer
die Maske in einen kleinen Abstand zum Wafer bringen
put the processor
in
the wait mode den
Prozessor in den Wartezustand setzen
quad-
in
-line package
QUIL-Gehäuse
quad-
in
-line package
Gehäuse mit zwei parallelen Doppelanschlußreihen
quadruple-
in
-line package
QUIL-Gehäuse
quadruple-
in
-line package
Gehäuse mit zwei parallelen Doppelanschlußreihen
radiation-induced defect
in
the lattice
strahlungsbedingte Störung im Gitter
radix point
in
the decimal notation system
Stellenwertpunkt im dezimalen Zahlendarstellungssystem
radix point
in
the decimal notation system
Radixpunkt im dezimalen Zahlendarstellungssystem
raster-scan a small image field over the wafer
in
two dimensions
ein kleines Bildfeld rasterförmig in zwei Koordinatenrichtungen über den Wafer führen
read-
in
and erase gate
Einlese- und Löschtor
read
in
data at a clock rate
Daten bei einer Taktrate einlesen
read
in
from
einlesen aus
read-
in
mode
Einlesebetrieb
read-
in
mode
Einleseprinzip
reading-
in
Einlesen
realize interface functions
in
software
Interfacefunktionen in Software realisieren
record
in
an output job file
in einer Ausgabearbeitsdatei registrieren
record the responses
in
a result memory
die Antworten in einem Ergebnisspeicher registrieren
reduction
in
contrast
Verringerung fdes Kontrasts
reduction
in
wavelength
Verkürzung der Wellenlänge
(in den fernen UV-Bereich)
release data files for use
in
another system
Dateien zur Verwendung in einem anderen System freigeben
repair the machine quickly
in
-house
die Anlage am Standort schnell reparieren
(instandsetzen)
representation of instructions
in
symbolic form
Darstellung von Befehlen in Symbolform
retrieval
in
subsequent stages of processing
Wiederauffindung in späteren Verarbeitungsstadien
retrofit to systems already
in
the field
nachträglich in schon vorhandene Anlagen einbauen
retrofittable to systems
in
the field
in schon existierenden Anlagen nachrüstbar
return the value
in
the shortest possible time
den Wert in der kürzestmöglichen Zeit zurückführen
right
in
rechter Eingang
(des Schieberegisters)
roll-
in
Einspeichern
(von Daten in den Internspeicher)
roll
in
einspeichern
(in den Arbeitsspeicher)
roll-out roll- roll-
in
zeitweiliges Umspeichern
(um Speicherkapazität im Internspeicher zu gewinnen)
rotate the slice about its centre
in
the slice plane
die Scheibe um ihren Mittelpunkt in der Scheibenebene drehen
rotate the substrate
in
the ion beam
das Substrat im Ionenstrahl drehen
round-off
in
the division process
Rundung im Divisionsverfahren
safe
in
service
betriebssicher
save space
in
the memory modules
in Speichermoduln Platz sparen
saving
in
chip area
Einsparung an Chipfläche
scan a raster
in
a serpentine manner
mäanderförmig abrastern
scan each subfield by the electron beam
in
a raster
jedes Unterfeld mit dem Elektronenstrahl abrastern
(rasterförmig abtasten)
scan every element
in
the pattern with a finely focussed spot beam
jedes Strukturelement mit einem feinfokussierten Strahl abrastern
scanned-data-
in
port
Abfragedateneingangskanal
scanning motion
in
a single direction
Abtastbewegung in einer Richtung
scanning motion
in
a single direction
Abrasterbewegung in einer Richtung
scatter
in
all directions
in alle Richtungen streuen
(Proximity-Effekt)
screen out unreliable units
in
a non-destructive manner
unzuverlässige Einheiten zerstörungsfrei aussondern
sealed-
in
abgedichtet
sealed-
in
hermetisch abgeschlossen
search for a new task
in
the task library
nach einer neuen Aufgabe in der Aufgabenbibliothek suchen
semiconductor components
in
a silicon chip
Halbleiterbauelemente in einem Siliziumchip
sense the errors
in
position
die Lagefehler erfassen
separated chips
in
wafer matrix on substrate
vereinzelte Chips im Scheibenverband auf dem Substrat
sequential steps
in
a bond cycle
Folgeschritte in einem Bondzyklus
sharp cutoff
in
the long-wavelength region
steile Absorptionskante im Langwelligen
sharp cutoff
in
the long-wavelength region
steile Kante im Langwelligen
shift data
in
parallel
Daten parallel verschieben
single
in
-line package
Gehäuse mit einreihigem Anschluß
single
in
-line package
Gehäuse nur einer Reihe von Anschlüssen
single
in
-line package
Gehäuse mit einer Reihe von Anschlüssen
slide-
in
chassis
Einschubrahmen
slow speed
in
writing an entire mask
geringe Geschwindigkeit des Maskenschreibens
snap-
in
module
Steckeinheit
soak the wafer
in
chlorobenzene
den Wafer in Chlorbenzol tränken
spread the beam
in
an X-Y raster
den Strahl in einem X-Y-Raster ablenken
squander the remaining chip area
in
a jumble of interconnections
die verbleibende Chipfläche mit Kreuz- und Querverbindungen vergeuden
stay
in
focus
fokussiert bleiben
step
in
silicon
Erhebung im Silizium
step
in
x-direction from one row to the next
in x-Richtung von einer Zeile zur nächsten fortschreiten
step the electron beam by 0.5 μm
in
the x-direction
den Elektronenstrahl schrittweise um 0,5 μm in x-Richtung führen
stepped-
in
alignment target
einbelichtete Justiermarke
store charge
in
the potential well
Ladung in der Potentialmulde speichern
store
in
memory
abspeichern
store large quantities of data
in
relatively short time periods
große Datenmengen in relativ kurzen Zeiten speichern
store the data
in
the appropriate location
die Daten in dem entsprechenden Speicherplatz abspeichern
submicron resolution
in
the production of VLST circuits
Submikrometerauflösung in der Herstellung von höchstintegrierten Schaltkreisen
substrate-
in
-process
im Bearbeitungsprozeß befindliches Substrat
subtract from the image
in
view the image of one adjacent pattern
von dem betrachteten Bild das Bild einer benachbarten Struktur subtrahieren
swapping-
in
of missing data
Einfügen von fehlenden Daten
swelling
in
the wet development process
Anschwellen im Naßentwicklungsprozeß
swelling
in
the wet development process
Aufquellen im Naßentwicklungsprozeß
symmetrical
in
a left-right sense around a vertical centreline
symmetrisch im Links-Rechts-Sinn um eine vertikale Mittellinie
synthesize the layout
in
accordance with the ground rules
das Layout entsprechend den Grundregeln zusammensetzen
take
in
the digital data stream issuing from various sensors
den von verschiedenen Sensoren ausgehenden digitalen Datenstrom aufnehmen
teach-
in
Programmierung eines lernenden Automaten
test
in
hierarchical fashion
in hierarchischer Stufenfolge testen
test-pattern drop-
in
Teststruktureinfügung
test-pattern drop-
in
Einfügung von Teststrukturen
to be
in
register with each other
sich in Deckung befinden
trace coding errors
in
a program
Kodierfehler in einem Programm suchen
translate the table
in
the x and y directions
den Tisch in x- und y-Richtung verschieben
translation error
in
the y direction perpendicular to the wafer flat
Verschiebungsfehler in y-Richtung senkrecht zum Scheibenanschliff
trap electrons
in
a deep potential well
Elektronen in einer tiefen Potentialmulde einfangen
trap the address of an incorrect word
in
a latch
die Adresse eines falschen Wortes in einem Latch erfassen
(auffangen)
trap the defects
in
the bulk of the wafer
die Störstellen im massiven Wafermaterial anlagern
trapping
in
the junction region
Einfang im pn-Übergangsbereich
turn around a mask
in
less than one hour
eine Maske in weniger als einer Stunde fertigstellen
turn the beam on at various points
in
the scan
den Strahl in verschiedenen Stellen im Raster helltasten
unattainable
in
practice
praktisch unerreichbar
undulation
in
narrow lines
Wellenbildung in schmalen Linien
upward-compatible surge
in
the supply voltage
Ansteigen der Versorgungsspannung
usable feature size
in
the 1.0-2.0 micrometre range
nutzbare Elementgröße firn 1- bis 2-μm-Bereich
usable feature size
in
the 1.0-2.0 micrometre range
nutzbare Linienbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich
usable feature size
in
the 1.0-2.0 micrometre range
nutzbare Strukturbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich
use the exposure process
in
a step and peat mode with individual alignment of each chip area
eine schrittweise Belichtung mit Einzeljustierung jeder Chipfläche durchführen
valence of the semiconductor
in
its pure form
Valenz des Halbleiters in seinem undotierten Zustand
value added
in
system capability
Gebrauchswertsteigerung
variation
in
exposure
Belichtungsschwankung
variation
in
line width
Schwankung fder Linienbreite
variation
in
process
Veränderung des Bearbeitungsverfahrens
variation
in
the light intensity
Schwankung der Lichtintensität
variation
in
wafer flatness
Unebenheit des Wafers
vary
in
value
sich im Wert ändern
vary
in
value
sich wertmäßig ändern
volatile contaminants
in
microcircuits
flüchtige Verunreinigungen in Mikroschaltungen
wasteful
in
area
flächenverschwendend
window
in
an oxide covering
Fenster in einer Oxidschicht
work
in
opposite directions
in entgegengesetzte Richtungen wirken
work
in
parallel
gleichzeitig arbeiten
write each strip
in
each chip sequentially
je den Streifen in jedem Chip sequentiell schreiben
write the interpreter
in
assembly language
das Interpretierprogramm in Assemblersprache schreiben
Get short URL