Terms for subject Microelectronics containing vacuum deposition

English	Russian
vacuum arc deposition	вакуумно-дуговое осаждение (вовка)
vacuum vapor deposition	вакуумное осаждение из паровой фазы
vacuum-deposition controller	контроллер для управления процессом вакуумного осаждения
vacuum-deposition mask	маска для термовакуумного осаждения
vacuum-deposition system	установка термовакуумного осаждения плёнок