 |
| English | Russian |
| micro-electromechanical systems | микроэлектромеханические системы (технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков Игорь_2006) |
| micro impurities | микропримеси (User) |
| micro sensor | микродатчик (Игорь_2006) |
| micro total analysis system | микросистема полного анализа (micro-TAS; microTAS; µTAS (lab-on-a-chip LOC) MichaelBurov) |