English | Russian |
airborne molecular contamination | молекулярные загрязнения в воздухе (Молекулярные загрязнения в виде газов или паров, находящихся в воздухе чистого помещения и контролируемой среды, которые могут оказать негативное влияние на продукт, процесс или оборудование CRINKUM-CRANKUM) |